Contenu des enseignements

Description du contenu de l'enseignement

• Techniques de dépôts des matériaux pour la micro et la nano électronique.
• Techniques de gravures de matériaux.
• Photolithographies (UV, électronique).
• Exemples de procédés de fabrication microélectronique.
• Caractérisations (électrique, microscopie électronique).